设备故障诊断系统资讯：物联时代的智能传感器

人类已经跨入21世纪，全面进入信息时代。无线振动传感器基于无线技术的机器状态监测，具有振动测量及温度测量功能，操作简单，自动指示状态报警。应用于工业设备状态管理及监测控制系统；适合现场设备运行和维护人员监测设备状态，及时发现问题，保证设备正?？煽吭诵?。振动故障诊断监测系统分析范围20KHz；缓变信号通道不少于32路，16位精度，动态信号通道不少于4路，102.4kS/s；系统变携，可以自带电源连续工作4小时。一体化振动变送器将压电传感器和精密测量电路集成在一起，实现了传统“传感器+信号调理器”和“传感器+监测仪表”模式的振动测量系统的功能；适合构建经济型高精度振动测量系统。从某种意义上说，他们也进入了传感器时代。在现代控制系统中，传感器处于连接被测对象和测试系统的接口位置，可以直接或间接地与被测对象接触，是信息输入的窗口，是万物相互关联的眼睛，是数据信息采集的功能装置，直接影响和决定着系统的性能。特别是物联网、大数据、云计算，甚至是已经受到**关注的智能城市技术，都严重依赖于传感器技术。

目前，世界上有26000多种传感器。由于缺乏制定**标准的标准和规范，权威的传感器标准类型尚未制定。其敏感机理、敏感材料、使用功能、应用领域相互交织，深度融合，难以厘清。各国、各行业从未停止过对标准划分的争论，各抒己见，争论不休，导致产品名称混乱、品种繁多、结构复杂、参数各异等复杂局面。目前行业只能分为简单的物理传感器、化学传感器和生物传感器。由于敏感机理和敏感材料、工业现场环境、使用场景的不同，以及被测介质的特性、个性化参数和复杂结构的不同，传感器长期处于多品种、小批量生产的状态。由于技术的分散性和复杂性以及设备的高价格，业界将其生产过程称为制造工业手工艺品。围绕工艺技术的协调与集成，各国工程技术人员在产品标准化、性能标准化、功能集成化、结构标准化、工艺装备夹具产业化等方面了长期的技术开发和创新，形成了一大批各具特色的技术成果。MEMS技术是创新的源泉。以美国硅谷传感器领域的MEMS技术为基础，根据不同行业和功能的要求，了近25年的各种不同封装结构的传感器产品创新，形成了各种类型的传感器产品，应用领域不断拓展，得到了各行业的广泛认可。正如硅谷MEMS技术创始人丹尼斯所说:20多年来，硅谷传感器产品一直围绕以硅基材料为主体的MEMS芯片，根据不同行业的市场应用需求，创新不同封装结构的产品。因此，MEMS技术是各类传感器的共性基础技术，被业界称为传感器创新之源。目前成熟的MEMS工艺有4英寸、6英寸、8英寸、12英寸。随着半导体平面工艺的升级换代，工艺设备和器件水平成熟度增强，价格不断降低。MEMS工艺也在朝着更大的尺寸发展，工艺成熟度也在不断增强。产品广泛应用于物理、化学、生物传感器，在声敏、光敏、热敏、力敏、磁敏、气敏、湿敏、压敏、离子敏传感器中的应用已经成熟。