设备故障诊断系统资讯：低功耗集成MEMS传感器用于汽车、医疗和消费电子产品

MEMS 技术的发展趋势主要表现在以下几个方面: 一是小型化，同时降低功耗。设备故障诊断系统具有缓变信号（如温度、压力、转速、流量等）与动态信号（如振动信号）的数据融合处理功能；具有黑匣子记录功能；系统满足车辆振动冲击环境下的使用要求。电涡流位移传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离。它是一种非接触的线性化计量工具。振动故障诊断监测系统分析范围20KHz；缓变信号通道不少于32路，16位精度，动态信号通道不少于4路，102.4kS/s；系统变携，可以自带电源连续工作4小时。第二，在小型化的同时提高精度。第三，整合与智能化的趋势。

目前，MEMS传感器主要应用于汽车、医疗和消费电子领域。

　　应用三大领域发展汽车、医疗、消费电子

传感器是汽车工业的一个重要应用领域。 每辆车将有40到数百个传感器，智能汽车的趋势也将推动汽车市场对传感器的需求。 其应用方向和市场需求包括防抱死制动系统（ABS）、电子车身稳定程序（ESP）、电子控制悬架（ECS）、电动手制动（EPB）、坡道启动辅助（HAS）、胎压监测（EPMS）、发动机防抖、车辆倾角测量和车内心跳检测等，其中，电子车身稳定程序ESP得到了许多MEMS制造商的高度重视。 由于其主动防滑功能需要更多的传感器和**的处理系统，它将推动汽车电子MEMS传统应用市场的需求。

随着中国人口老化和医疗保健系统的发展，各种远程监测和高精度治疗设备将越来越多地被引进。医疗保健市场已逐渐成为 MEMS 传感器应用的另一大市场。MEMS 具有微尺度的特点，可以代替器官移植、微观检测，主要发展方向是血管内外科和颅内外科及细胞外科。

MEMS传感器主要用于消费电子领域，例如运动检测、导航数据补偿、游戏人机接口、电源管理、GPS增强、盲区消除、速度距离计数、其他运动和医疗保健应用等。这些MEMS技术极大地改善了用户体验，带来了全新的电子消费产品。其中，加速度计是该市场*大的应用产品。近年来，陀螺仪发展迅速，已经成为仅次于加速度计的第二大应用产品。

　　MEMS麦克风*近几年中国一直都是保持着一个很高的增长率。以智能技术手机、平板电脑和超级本为代表，消费企业电子商务市场的飞速经济发展极大地提高推动着MEMS麦克风产品的需求和社会发展。Yole Developpement的分析研究数据结果显示：2010年～2016年，MEMS麦克风市场环境总体出货量将保持23%的水平;据预测，MEMS麦克风出货量2013年将达到10亿颗，2016年将接近20亿颗。从具体实际应用服务市场情况来看，在MEMS麦克风可以应用问题*为具有广泛的手机网络终端设备市场中，2016年MEMS麦克风的出货量将接近**市场需求总量的一半。

除了上述三个领域外，MEMS在工业领域也有许多应用。