设备故障诊断系统资讯：传感器与MEMS技术的协同发展

传感器发展的另一个主要特点是向集成化、智能化方向发展。电涡流位移传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离。它是一种非接触的线性化计量工具。无线振动传感器基于无线技术的机器状态监测，具有振动测量及温度测量功能，操作简单，自动指示状态报警。应用于工业设备状态管理及监测控制系统；适合现场设备运行和维护人员监测设备状态，及时发现问题，保证设备正常可靠运行。设备故障诊断系统具有缓变信号（如温度、压力、转速、流量等）与动态信号（如振动信号）的数据融合处理功能；具有黑匣子记录功能；系统满足车辆振动冲击环境下的使用要求。集成传感器的优点是传统的传感器无法达到的，它不仅是一个简单的传感器，它将辅助电路元件和传感器元件同时集成在一个芯片上，它具有校准、补偿、自诊断和网络通信等功能。它可以降低成本，提高产量。智能传感器是一种微处理器传感器，是微机与传感器相结合的产物。它具有检测、判断和信息处理功能，与传统传感器相比具有许多特点，具有判断和信息处理、多传感器多参数测量、自诊断和自校准、测量数据访问、数据通信接口和与微机直接通信等功能。将传感器、信号调理电路和单片机集成在一个芯片上，形成超大规模集成的**智能传感器已成为一种新的发展趋势。

传感器是一种接收和响应信号的装置。传感器的灵敏度显示是指传感器输出的变化。测量微小变化的传感器必须具有非常高的灵敏度。传感器也会影响它们的测量；例如，室温的温度计插入一杯热液体到冷却液的加热温度计中，并随液体而变化。传感器需要设计一个影响测量的因素；可以改进传感器，同时可以引入其他优点。随着技术的发展，越来越多的传感器作为微传感器来应用MEMS技术。**的MEMS技术意味着制造商现在可以生产非常精确的MEMS传感器和器件，但其中许多无法直接安装到*终应用中，因为它们无法经受住苛刻的*终组装。相反，传统传感器可以在任何组装过程和任何应用中生存，但它们太昂贵了。商业制造商面临的挑战是将MEMS价格和成型因素结合起来，然后将其封装成能够承受恶劣环境的产品。

　　今天,除了新方式来包装和集成MEMS器件，大部分企业工业创新和发展商业市场机会集中在应用系统程序的现有MEMS器件。MEMS传感器主要包括加速度计(ACC)、陀螺仪(GYRO)、磁力计(MAG)、压力以及传感器(PS)和话筒(MIC)。因为一个低成本，小尺寸，低功耗，高性能，MEMS传感器近几年来被集成到便携电子设备内。

　　快速的CPU、多任务处理的操作系统、高灵敏度GPS接收器、3G/4G无线通信芯片组、高分辨率数字摄像头、触摸屏LCD显示屏和大容量存储器是智能手机的共同特性。MEMS传感器的用途不再局限于当前的应用领域，例如，屏幕旋转、省电、运动检测、数字罗盘和3D游戏。目前导航厂商正在开发更**的MEMS传感器应用，例如，增强实境(AR)、定位服务(LBS)、行人航位推算系统(PDR)。